SamsungとSK Hynixも半導体向け国産フッ化水素の調達に成功

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日本政府が対韓輸出を厳格化している高純度フッ化水素について、LG Display(以下LG)に続きSamsungとSK Hynixも国産素材で代替する目処が立ったようです。

日本からの輸入製品と同等

高純度フッ化水素、フッ化ポリイミド、フォトレジストの先端素材は、7月より日本から韓国への輸出が厳格化されています。ディスプレイや半導体の生産に必須であるばかりか、その多くを日本から輸入していたため、SamsungやLG、SK Hynixといった韓国企業は大きな痛手を受けました。これらの企業はいずれもディスプレイや半導体市場で大きなシェアを有しているため、輸出規制によってデバイス市場全体への影響が懸念されていました。
 
そうした中で中央日報は4日、SamsungとSK Hnyixがともに半導体向け高純度フッ化水素の国内確保に成功したと報じました。中国製の無水フッ化水素を輸入して韓国で現地企業(Soulbrain、ENF Technology)が精製し、日本から輸入していた純度99.999%(ファイブ・ナイン)のものと同等の品質を実現したそうです。なお、先日もLGがディスプレイ向け高純度フッ化水素を国産製品で代替できる目処が立ったと報じられたばかりです。

フッ化水素は解決しそうだが

半導体向けのフッ化水素はディスプレイ向けよりも高純度の必要があり、代替製品の確保には時間がかかると見られていただけに、各企業とも胸をなで下ろしていることでしょう。Samsungについて言えば、現時点ではフッ化水素が必要な半導体製造工程のうち数%しか国産フッ化水素を使用していないそうですが、量産規模が今後増大していくにつれ、使用比率も高まっていくと考えられます。
 
ただし、高純度フッ化水素の国産化に成功したとはいえ、フッ化ポリイミドやフォトレジストも規制の対象となっています。とりわけEUV用フォトレジストの確保は、ファウンドリ業界で影響力を強めたいと考えるSamsungにとって急務とされています。
 
Source:中央日報
(kihachi)

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